语气词是一个系统，其中还包括一些子系统，如句尾语气词、句中语气词等。句尾语气词又可以分为陈述语气词、疑问语气词、感叹语气词等。但是这些子系统并不是一开始就都有的，而是逐渐发展、成熟起来的。由于句中语气词一般都是由句末语气词发展而来的，所以句中语气词的出现时代就比较晚。从现有的出土先秦文献来看，句末语气词从殷商时代已经开始出现，而句中语气词都是在战国秦代才出现的，没有例外。如句中语气词“也”“殹”“矣”“乎”“焉”“尔”等都只出现在出土战国秦代文献中。就出土先秦文献来看，上述13 个语气词的出现和使用时代是不同的。如下表所示：
上表中的“与”表示半信半疑的语气。例如：“人而亡恒，不可为卜（筮）也，丌（其）古之遗言（与）。”（《郭店楚简·缁衣》）“桓子曰：‘二道者，可（得）（闻）（与）？’夫子曰：‘言即至矣，唯（虽）吾子勿（问），古（故）将㠯（以）告。’”（《上博楚简六·孔子见季子》）“也（绥，緌）”是静态语气词，表示判断、确认肯定的语气。例如：“此君子之大（务）也。”（《上博楚简五·季庚子问於孔子》）“此易言而难行緌（也）。”（《中山王鼎铭》，《集成》5·2840）“也”还可以用在主语、状语、兼语之后，也可以用在“者”字短语、连谓短语、转折短语之中，表示停顿。例如：“丘也昏（闻）君子田肥民则安。”（《上博楚简五·季庚子问於孔子》）“及丌（其）又（有）天下也，不以天下为重。”（《郭店楚简·唐虞之道》）“是古（故）先王之（教）民也，不（使）此民也（忧）丌身。”（《郭店楚简·六德》）“句（苟）不从丌䌛（由），不反丌本，未有可㝵（得）也者。”（《郭店楚简·成之闻之》）“乐之（动）心也，濬深（郁），丌（其）剌（烈）（则）流女（如）也以悲。”（《郭店楚简·性自命出》）“受不若也，可从也而不可及也。”（《郭店楚简·尊德义》）句中语气词“也”在春秋时代已经出现，见于《栾书缶铭》：“余畜孙书也择其吉金，以作铸缶”。“殹”也是静态语气词，表示判断、确认肯定的语气。例如：“凡法律令者，以教道（导）民，去其淫避（僻），除其恶俗，而使之之於为善殹。”（《睡虎地秦简·语书》）“殹”还可用于主语、状语、定语之后，也可以用在转折短语之中，表示停顿。例如：“其大厩、中厩、宫厩马牛殹，以其筋、革、角及其贾（价）钱效。”（《睡虎地秦简·秦律十八种》）“若以是月殹北徙，。”（《睡虎地秦简·日书甲种》）“县料而不备者，钦书其县料殹之数。”（《睡虎地秦简·效律》）“非適（谪）罪殹而欲为冗边五岁。”（《睡虎地秦简·秦律十八种》）“矣”是动态语气词，表现出现新情况的语气。例如：“夫为丌君之古（故）杀丌身者，尝又（有）之矣。”（《郭店楚简·鲁穆公问子思》）“矣”还可用在转折短语、连谓短语之中，表示停顿，也表示动作的实现体。例如：“丌（载）也亡（厚）安（焉），交矣而弗智（知）也，亡。”（《郭店楚简·尊德义》）“敬（庄），䢜（贵）豊，行矣而亡㗹（遗）。”（《郭店楚简·尊德义》）“乎”是一个表示真性疑问的语气词。例如：“命（令）尹子林（问）於大（太）宰子：‘为人臣者亦又（有）（争）（乎）？’大宰答曰：‘君王元君，君善，大夫可（何）羕（用）（争）？’”（《上博楚简四·柬大王泊旱》）“乎”还可用在主语、状语之后，表示停顿，同时有表示感叹的作用。例如：“成孙弋曰：‘ （噫）！善才（哉），言（乎）！’”（《郭店楚简·鲁穆公问子思》）“冬（终）虖（乎）不猒（厌）人。”（《上博楚简一·诗序》）“哉”是专职表感叹的语气词，在西周、春秋、战国秦代的语料中都可以见到。例如：“乌虖，哀（哉）！用天降大丧于上或（国），亦唯噩侯方率南淮尸（夷）、东尸广伐南或（国）东或，至于历内。”（《禹鼎铭》，《集成》5·2833）“乌呼，哀哉！烈叔、烈夫人万世用之。”（《郑臧公之孙鼎铭》，《近出》2·217）“孔子曰：‘善才（哉），昏（闻）（乎）！’”（《上博楚简三·中弓》）“焉”，将事态往大处说，表肯定提醒的语气。例如：“惪（德）者， （且）莫大（乎）豊（礼）乐安（焉）。”（《郭店楚简·尊德义》）“抑”“执”都是表示真性疑问的语气词，只见于殷商时代。例如：“癸酉卜，王贞：自今癸酉至于乙酉邑人其见方抑，不其见方执。”（《合集》799）“辛酉卜，贞：有至今日执，亡抑？亡。”（合集20377）“耳”将事态往小处说，表示限止语气。例如：“又（有）阅春秋，亡不以丌生也亡耳。”（《郭店楚简·语丛三》）“尔”将事态往大处说，表肯定提醒的语气。例如：“乍（作）豊（礼）乐，折（制）坓（刑）法，（教）此民尔（爾）。”（《郭店楚简·六德》）“尔”用于主语之后，表示停顿，又有夸大的意思。例如：“丌（其）言尔（爾）（信），古（故）（转）而可受也。”（《郭店楚简·忠信之道》）“已”也是动态语气词，表示所述事件已经成为事实的肯定语气，在春秋和战国秦代都可以见到。例如：“往已弔（叔）姬，虔敬乃后，子孙勿忘。”（《吴王光鉴铭》，《集成》16·10299）“天下皆智（知）之为也，亚（恶）巳（已）；皆智善，此其不善巳（已）。”（《郭店楚简·老子甲本》）“兮”可表感叹语气，同时有拉长声调、使语气舒缓的作用。例如：“（鸤）（鸠）曰：丌义一氏（兮），心女（如）结也。（吾）信之。”（《上博楚简一·诗序》）“而已”，将事态往小处说，表示限止语气。例如：“善者果而巳（已），不以取（强）。”（《郭店楚简·老子甲本》）有些文献虽然是出土文献，但是经过了流传，难以保持语言原貌，所以这种文献中的语气词在上表中就没有显示。如在出土战国文献中，可以见到用作句末语气词的“则”，出现在《诗经》引文之中。很明显，这是西周春秋时代的语言现象（韵文中），而不是战国时代的语言现象。例如：“《寺（诗）》員（云）：‘皮（彼）求我（则），女（如）不我㝵（得）。’”（《郭店楚简·缁衣》）。这个例子在传世文献中作“彼求我则，如不我得”（《诗经·小雅·正月》）。马瑞辰《毛诗传笺通释》说：“则字为句末语助词，故《笺》但云‘王之始征求我’，不释则字。”“则”可作句末语气词，用于分句之末，表示感叹语气。裴学海《古书虚字集释》说：“则，犹哉也。”注曰：“古音则与哉同。”（卷八，603 页）又如在出土战国文献中，还可以见到用作句末语气词的“兮”，出现在《诗经》引文之中。很明显，这也是西周春秋时代的语言现象（韵文中），而不是战国时代的语言现象。例如：“（鸤）（鸠）曰：丌义一氏（兮），心女（如）结也。（吾）信之。”（《上博楚简一·诗序》）同一个语气词在不同的时代虽然都可以见到，但其使用频率却可以是不同的，也就是有常用和不常用之别。如感叹语气词“哉”虽然在西周、春秋、战国时代的出土文献中都可以见到，但是它在西周春秋时代的语料中不常见，而在战国时代的语料中则常见。不但语气词有时代性，就是语气词的用法也具有时代性。如语气词“哉”出现于西周时代，可以用在感叹句、祈使句中，一般都是单用，不与别的语气词连用。到了战国时代，语气词“哉”不但可以用在感叹句、祈使句末，也可以用在反问句末；不但可以单用，也可以与其它语气词连用。再如陈述语气词“已”最早见于春秋时代的出土文献中，但是只有单用的例子；到了战国时代才可以见到“已”与其它语气词连用的例子。张振林（1982）说在春秋中期或更早出现大量语气词的可能性，是极其小的。陈永正（1992）说过，句末语气词的大量产生和使用，当在处士横议、论辩诘难之风大盛的战国时代。这些话在今天看来，还是能成立的。